日本電子電鏡是一種用途廣泛的多功能儀器，具有很多*的性能，重要特點是景深大，圖像富立體感，具有三維形態(tài)。它可以進(jìn)行三維形貌的觀察和分析，當(dāng)然，還可以進(jìn)行微區(qū)的成分分析等其他方面的應(yīng)用。表面分析是指對材料的表面特性和表面現(xiàn)象進(jìn)行觀察分析、測量的方法和技術(shù)，是掃描電鏡基本、普遍的用途。通常用二次電子成像，來觀察樣品表面的微觀結(jié)構(gòu)、化學(xué)組成等情況。

　　原子序數(shù)襯度是利用對樣品表層微區(qū)原子序數(shù)或化學(xué)成分變化敏感的物理信號，如背散射電子、吸收電子等作為調(diào)制信號而形成的一種能反映微區(qū)化學(xué)成分差別的像襯度。實驗證明，在實驗條件相同的情況下，背散射電子信號的強度隨原子序數(shù)增大而增大。在樣品表層平均原子序數(shù)較大的區(qū)域，產(chǎn)生的背散射信號強度較高，背散射電子像中相應(yīng)的區(qū)域顯示較亮的襯度；而樣品表層平均原子序數(shù)較小的區(qū)域則顯示較暗的襯度。由此可見，背散射電子像中不同區(qū)域襯度的差別，實際上反映了樣品相應(yīng)不同區(qū)域平均原子序數(shù)的差異，據(jù)此可定性分析樣品微區(qū)的化學(xué)成分分布。

　　日本電子電鏡的樣品處理方法：

　　（1）對于新鮮的金屬斷口樣品不需要做任何處理，可以直接進(jìn)行觀察。

　　（2）樣品表面附著有灰塵和油污，可用有機溶劑（乙醇或丙酮）在超聲波清洗器中清洗。

　　（3）樣品表面銹蝕或嚴(yán)重氧化，采用化學(xué)清洗或電解的方法處理（或用醋酸纖維素沾）。清洗時可能會失去一些表面形貌特征的細(xì)節(jié)，操作過程中應(yīng)該注意。

　　（4）對于不導(dǎo)電的樣品，觀察前需在表面噴鍍一層導(dǎo)電金屬或碳，鍍膜厚度控制在5-10 nm為宜。

　　（5）對于斷口表面有脫落附物又必須要觀察脫落物的樣品，用醋酸纖維素做斷口覆膜，然后觀察醋酸纖維素覆膜即可。